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洁净室等级标准规范与要求有哪些

时间:2022-09-12   访问量:1011

  百级洁净室

  100级洁净室的气流形式是层流模式。空气以均匀的截面速度沿平行流线流动,这与流体力学的层流概念不同。具体来说,它是垂直层流侧回风。与100级以上洁净室采用的混流或混流模式(即空气以不均匀的速度流动)相比,具有效果完整、运行快速稳定、粉尘堆积和漂浮少、管理方便等优点,但设备成本很高,维护成本也很高。

  洁净度:粒径大于等于0.1微米的最大粒径不能大于100个。

  千级洁净室标准

  要了解千级洁净室,首先要了解无尘的概念。按照国际惯例,无尘净化水平主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定的。也就是说,所谓无尘不是100%没有灰尘,而是控制在非常微量的单位上。当然,与我们常见的灰尘相比,这个标准中符合灰尘标准的颗粒很小,但对于光学结构来说,即使是一点灰尘也会产生很大的负面影响,所以无尘是光学结构产品生产中不可避免的要求。

  洁净度:

  每立方米粒径小于0.5微米的粉尘数量控制在3500以下,达到国际无尘标准A级。目前,芯片级生产加工的无尘标准对粉尘的要求高于A级,主要用于一些高级芯片生产。粉尘数量严格控制在每立方米1000以内,通常称为1K级。

  压差:

  对于大多数净化无尘车间,为了防止外部污染侵入,需要保持内部压力(静压)高于外部压力(静压)。维持压差一般应符合以下原则:清洁空间压力高于非清洁空间压力;洁净度高的空间压力高于相邻洁净度低的空间压力;洁净室之间的门应打开到洁净度高的房间。

  压差的维持取决于新风量,这应该能够补偿在这种压差下从缝隙中泄漏出来的风量。因此,压差的物理意义是通过洁净室各种缝隙时泄漏(或渗透)风量的阻力。

  温湿度:常规温度22±2度,湿度55±5%。

  万级净化车间标准

  世界各国都有自己的规格,但一般按照联邦政府颁布的标准FederalStandard(FS)209E,1992,无尘室可分为六级。它们分别是1级、10级、100级、1000级、10000级和10000级。如果无尘室的等级仅用尘粒的数量来描述,则可以假设尘粒的尺寸为0.5μm。例如,10级为0.2μm(尘粒尺寸为0.2μm或以上,密度不大于75/m3),1级为0.1μm(尘粒尺寸为0.1μm或以上,密度不大于35/m3)。

  洁净度:洁净度1万级cleanlinesclass1万(P2万级实验室即ISO7级)即大于等于0.5μm的尘粒数大于35000粒/m3(35粒/L)至小于等于35000粒/m3(350粒/L);大于等于5μm的尘粒数大于300粒/m3(0.3粒/L)至小于等于3000粒/m3(3粒/L)。

  压差及温湿度控制:

  1)温度:干盘管系统控制。

  2)湿度:通过感知信号调节空调箱,控制三通阀开度,调节空调箱盘管进水量。

  3)正压:调节空调箱,根据静压感知信号自动调节空调箱电机变频器的频率,从而调节进入室内的新风量。

  10万级净化车间标准。

  10万级净化车间的洁净度不算太高,包括一般电子、食品饮料、医疗器械、化妆品厂等。

  洁净度:

  1万(10万)级洁净室是指工作车间内每立方米颗粒控制在10W以内的生产车间,主要用于电子工业和制药工业。如果食品工业有10万级的生产车间,那就相当不错了。1万(10万)级洁净室要求每小时通风15-19次,完全通风后空气净化时间不超过40分钟。

  压差:

  洁净度等级相同的洁净室压差保持一致,相邻洁净室之间的压差应≥5Pa,洁净室与非洁净室之间的压差应≥10Pa。

  温湿度:

  当10万级洁净室对温度和湿度没有特殊要求时,最好穿干净的工作服不要有舒适感。温度一般控制在冬季20~22℃;夏季24~26℃;波动±2℃。冬季洁净室湿度控制在30-50%,夏季洁净室湿度控制在50-70%。

  照度:

  洁净室(区)主要生产用房一般照度值≥300Lx;辅助工作室、人员净化和物料净化室、气闸室、走廊的照度值为200~300Lx。

  30万级净化车间标准

  空气清洁度是清洁环境中空气中悬浮颗粒数量的程度。通常,如果空气中粉尘浓度低,空气清洁度就会高,如果粉尘浓度高,空气清洁度就会低。根据空气中悬浮颗粒的浓度,将洁净室和相关受控环境中的空气清洁度等级划分为每立方米空气中最大允许颗粒的数量。

  制药厂一般有1万级、10万级、30万级,其中10万级(灌装、内包装)和30万级,10万级比30万级严格得多。

  洁净度:

  每立方米大于或等于0.5μm的尘粒不得超过10、5万颗;每立方米大于或等于5μm的尘粒不得超过6万颗;每立方米浮游菌数量不得超过1000颗。

  压差及温湿度控制:

  压差:不同洁净水平洁净室(区)之间,静压差大于或等于5PA;洁净室(区)与室外,静压差大于或等于10PA。

  温湿度:温度-18~28℃;湿度-45~65%。

  百万净化车间标准

  在洁净空间单位体积空气中,以大于或等于被考虑粒径的粒子最大浓度限值划分的等级标准。

  百万级空气洁净度标准:

  每立方米大于等于0.5μm的尘粒数量不得大于3.5万个,每立方米大于等于1μm的尘粒数量不得大于8.3万个,每立方米大于等于5μm的尘粒数量不得大于2.5万个。

  洁净室等级标准的四个要求

  洁净室要达到良好的清洁效果,不仅要采取合理的空调净化措施,还要有规范的设计,正确使用,科学的维护管理。洁净程度和污染控制的可持续稳定性是检验洁净室质量的核心标准。该标准将根据区域环境、净化程度等因素分为几个等级,包括国际标准和国内区域行业标准。为了满足等级标准,洁净室应满足以下四个要求。

  1、送风清洁度。在送风清洁度方面,要满足要求,关键是净化系统末级过滤器的性能和安装。净化系统末级过滤器一般采用高效过滤器或亚高效过滤器。因此,应考虑清洁度要求,以低级洁净室为原则,选择高性能过滤器。

  然而,为了选择一个好的过滤器,我们还应该充分考虑洁净室的特点、过滤器的特点和净化系统的特点。为了保证送风的清洁度,只有合格的过滤器是不够的,但也要保证运输。安装过程中不损坏过滤器,确保安装严密。

  2、气流组织。洁净室的气流组织不同于一般的空调房间要求最干净的空气首先送到操作部位,其作用是限制和减少对加工物的污染。因此,在设计气流组织时应考虑以下原则。

  首先,尽量减少涡流,避免将工作区以外的污染带入工作区;其次,尽量防止灰尘二次飞扬,减少灰尘对工件的污染机会;最后,工作区的气流应尽可能均匀,风速应满足工艺和卫生要求。当气流流向回风口时,应有效带走空气中的灰尘。根据不同的清洁要求,选择不同的送回方式。

  3、送风量或风速。足够的通风量是稀释和消除室内空气污染。根据不同的洁净度要求,当洁净室高度较高时,可适当增加通风次数。其中,100万级洁净室的通风量按高效净化系统考虑,其余按高效净化系统考虑。当10万级洁净室高效过滤器集中布置在机房或系统末端使用亚高效过滤器时,通风次数可适当增加10-20%。

  4、静压差。保持一定的正压是保证洁净室不受或少受污染的必要条件之一。即使是负压洁净室,也必须有不低于其洁净度水平的相邻房间或套房,以保持一定的正压,才能保持负压洁净室的洁净度。

  据悉,维护洁净室正压所需的风量主要根据维护结构的密封性来确定。我国设计规范规定,不同级别洁净室与洁净区与非洁净区之间的静压差不小于0.5mmH2O(~5Pa),洁净区与室外的静压差不小于1.OmmH20(~l0Pa)。


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